켄텍 서동한 교수팀과 고려대 김영진 교수팀은 반도체 및 디스플레이 공정의 현상액으로 쓰이는 맹독성 물질 '테트라메틸암모늄 하이드록사이드(TMAH)'를 친환경적으로 처리할 수 있는 광촉매 'DE 700'을 개발했다고 18일 밝혔다. 기존의 화학적·생물학적 폐수 처리 방식은 에너지 소모가 크고 2차 슬러지가 발생하는 한계가 있었다. 연구팀은 반도체 웨이퍼 생산 공정에서 버려지는 저순도 규조토에 산소 결함이 포함된 이산화티타늄 나노층을 합성해 광촉매를 제작했다. 실험 결과, 20ppm 농도의 TMAH 폐수에 해당 촉매를 넣고 태양광을 비추자 12시간 만에 오염 물질이 100% 분해됐다. 이는 기존 상용 광촉매의 분해율인 29.22%보다 현저히 높은 수치다. 또한 4회 반복 사용 시에도 91~97%의 정화 효율을 유지했으며, 정화된 물에서 식물 발아 테스트를 진행한 결과 생태 독성이 관찰되지 않았다. 이번 연구는 켄텍의 알리 M. 아부-엘란와르 박사와 김선우 박사가 공동 제1저자로 참여했으며, 연구 결과는 지난 10일 국제학술지 '서스맷(SusMat)'에 게재됐다.