DGIST 로봇및기계전자공학과 한상윤·유재석 교수 공동 연구팀은 빛을 이용해 초음파의 미세한 떨림을 감지하는 광학식 초음파 센서를 개발했다고 1일 밝혔다. 이번 연구는 반도체 산업에서 사용되는 실리콘 포토닉스 기술을 적용해 광 회로와 미세 기계 구조물을 단일 반도체 칩 위에 구현했다. 해당 센서는 감지부 크기가 0.0004㎟로 기존 상용 센서 대비 유효 감지 면적당 수신 응답이 2만 5000배 이상 높다. 공기 중 신호 감쇠 문제를 초고감도 설계로 극복했으며, 기존 8인치 실리콘 웨이퍼 반도체 파운드리 인프라를 통해 대량 생산이 가능하다. 연구팀은 이 기술이 반도체나 이차전지 내부 결함을 찾는 비파괴검사 분야를 비롯해 산업용 계측 및 의료 영상 분야에 활용될 것으로 전망했다. 이번 연구는 삼성전자 미래기술육성센터와 한국연구재단의 지원을 받았으며, 연구 결과는 국제 학술지 '포토닉스 리서치'에 게재됐다.