신고를 받고 출동한 소방당국은 장비 11대와 인력 33명을 투입해 현장 안전조치를 진행했다. 사고는 클린룸 내 장비에서 염소가스가 누출되면서 발생한 것으로 추정된다. 소방당국은 가스가 클린룸 내부에만 퍼졌으며 외부로 확산하지는 않았다고 밝혔다. 이번 사고로 인한 인명 피해는 발생하지 않았다. 소방당국은 현장 출입을 통제하고 가스 농도를 측정하는 등 조치를 취했으며, 오전 11시 30분께 출입 통제를 해제했다. 경찰과 소방당국은 정확한 사고 경위와 원인을 조사할 방침이다.